本标准适用于化学气相沉积。
化学气相沉积炉标准号为YS/T 1031-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
本文网址：https://www.171zz.com/document/147210.html
YS/T 1031-2015
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*本标准 YS/T 1031-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
本标准适用于化学气相沉积。
化学气相沉积炉标准号为YS/T 1031-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
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