内容简要 本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射…
磁控溅射硅靶材及绑定靶材标准号为T/CAS 304-2018，发布日期：2018-05-29、实施日期：2018-05-29，所属团体名称为中国标准化协会。
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T/CAS 304-2018
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*本标准 T/CAS 304-2018 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。