本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。此标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范标准号为GB/T 28276-2012，发布日期：2012-05-11、实施日期：2012-12-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 28276-2012
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*本标准 GB/T 28276-2012 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。