本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法标准号为YS/T 15-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
本文网址：https://www.171zz.com/document/147008.html
YS/T 15-2015
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 YS/T 15-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。