本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法标准号为YS/T 14-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
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YS/T 14-2015
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*本标准 YS/T 14-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。