本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法标准号为YS/T 1059-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
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YS/T 1059-2015
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*本标准 YS/T 1059-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。