本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法标准号为YS/T 1392-2020，发布日期：2020-12-09、实施日期：2021-04-01，所属行业分类制造业。
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YS/T 1392-2020
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*本标准 YS/T 1392-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。