适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范标准号为SJ/T 11761-2020，发布日期：2020-12-09、实施日期：2021-04-01，所属行业分类。
本文网址：https://www.171zz.com/document/176970.html
SJ/T 11761-2020
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*本标准 SJ/T 11761-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范标准号为SJ/T 11761-2020，发布日期：2020-12-09、实施日期：2021-04-01，所属行业分类。
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