内容简要 本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-…
氧化锌铝磁控溅射靶材标准号为T/ZZB 0639-2018，发布日期：2018-10-19、实施日期：2018-11-01，所属团体名称为浙江省质量协会。
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T/ZZB 0639-2018
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*本标准 T/ZZB 0639-2018 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。