内容简要 本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽…
超纯氨标准号为T/CCGA 30001-2019，发布日期：2019-10-29、实施日期：2020-01-29，所属团体名称为中国工业气体工业协会。
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T/CCGA 30001-2019
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*本标准 T/CCGA 30001-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。