内容简要 本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠）含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、…
多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法标准号为T/CNIA 0017-2019，发布日期：2019-02-13、实施日期：2019-06-01，所属团体名称为中国有色金属工业协会。
本文网址：https://www.171zz.com/document/191152.html
T/CNIA 0017-2019
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 T/CNIA 0017-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。