内容简要 本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底…
无纺布/聚氨酯复合抛光垫标准号为T/SHXCL 0004-2021，发布日期：2021-04-12、实施日期：2021-05-30，所属团体名称为上海市新材料协会。
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T/SHXCL 0004-2021
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*本标准 T/SHXCL 0004-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。