内容简要 本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲…
薄膜应力测定 基片弯曲法标准号为T/SZMES 3-2021，发布日期：2021-05-28、实施日期：2021-06-01，所属团体名称为深圳市机械工程学会。
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T/SZMES 3-2021
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*本标准 T/SZMES 3-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。