内容简要 规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子…
真空表面处理工艺用离子源标准号为T/GVS 003-2021，发布日期：2021-06-28、实施日期：2021-06-28，所属团体名称为广东省真空学会。
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T/GVS 003-2021
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*本标准 T/GVS 003-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。