内容简要 规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以…
高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求标准号为T/GVS 002-2021，发布日期：2021-06-28、实施日期：2021-06-28，所属团体名称为广东省真空学会。
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T/GVS 002-2021
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*本标准 T/GVS 002-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。