内容简要 第3章 术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。第4章真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂…
光学真空腔体洁净度检测规范标准号为T/CATSI 09010-2021，发布日期：2021-08-25、实施日期：2021-08-25，所属团体名称为中国技术监督情报协会。
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T/CATSI 09010-2021
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*本标准 T/CATSI 09010-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。