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T/NXCL 004-2021

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*本标准 T/NXCL 004-2021 仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。

内容简要 本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、…

旋转硅靶材标准号为T/NXCL 004-2021,发布日期:2021-11-11、实施日期:2021-11-11,所属团体名称为宁夏材料研究学会。

T/NXCL 004-2021

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