内容简要 本文件规定了大尺寸环形硅锗靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、表面…
平面硅锗靶材标准号为T/NXCL 003-2021，发布日期：2021-11-11、实施日期：2021-11-11，所属团体名称为宁夏材料研究学会。
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T/NXCL 003-2021
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*本标准 T/NXCL 003-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。