内容简要 本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采…
半导体单晶硅生长用石英坩埚标准号为T/CEMIA 023-2021，发布日期：2021-07-15、实施日期：2021-12-25，所属团体名称为中国电子材料行业协会。
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T/CEMIA 023-2021
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*本标准 T/CEMIA 023-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。