内容简要 1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和…
微波ECR等离子体发生器校准规范标准号为T/BEA 40002-2022，发布日期：2022-01-18、实施日期：2022-02-09，所属团体名称为北京电子仪器行业协会。
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T/BEA 40002-2022
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*本标准 T/BEA 40002-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。