内容简要 本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。…
MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法标准号为T/ZOIA 30001-2022，发布日期：2022-12-29、实施日期：2022-12-29，所属团体名称为中关村光电产业协会。
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T/ZOIA 30001-2022
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*本标准 T/ZOIA 30001-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。