内容简要 规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～100MHz的射频电…
射频电源动态阻抗测试方法标准号为T/GVS 007-2022，发布日期：2022-07-11、实施日期：2022-07-11，所属团体名称为广东省真空学会。
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T/GVS 007-2022
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*本标准 T/GVS 007-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。