内容简要 本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。…
集成电路用六氯乙硅烷标准号为T/ICMTIA 3-2020，发布日期：2020-02-24、实施日期：2020-04-24，所属团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。
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T/ICMTIA 3-2020
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*本标准 T/ICMTIA 3-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。