内容简要 本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为,硫酸(H2SO4)≥60W/%;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/%;铁(Fe)≤0.0…
钛白粉用集成电路制造行业废硫酸标准号为T/SICA 001-2020,发布日期:2020-04-29、实施日期:2020-06-01,所属团体名称为上海市集成电路行业协会。
本文网址:https://www.171zz.com/document/210024.html
内容简要 本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为,硫酸(H2SO4)≥60W/%;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/%;铁(Fe)≤0.0…
钛白粉用集成电路制造行业废硫酸标准号为T/SICA 001-2020,发布日期:2020-04-29、实施日期:2020-06-01,所属团体名称为上海市集成电路行业协会。
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