内容简要 本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。…
集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类标准号为T/ICMTIA 4.2-2020，发布日期：2020-12-31、实施日期：2021-03-01，所属团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。
本文网址：https://www.171zz.com/document/215293.html
T/ICMTIA 4.2-2020
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*本标准 T/ICMTIA 4.2-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。