内容简要 规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微…
半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法标准号为T/GVS 006-2022，发布日期：2022-05-27、实施日期：2022-05-27，所属团体名称为广东省真空学会。
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T/GVS 006-2022
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*本标准 T/GVS 006-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。