内容简要 本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。…
半导体晶圆缺陷自动光学检测设备标准号为T/CZSBDTHYXH 001-2023，发布日期：2023-08-08、实施日期：2023-08-09，所属团体名称为常州市半导体行业协会。
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T/CZSBDTHYXH 001-2023
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*本标准 T/CZSBDTHYXH 001-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。