内容简要 本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。…
8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸标准号为T/CASAS 025-2023，发布日期：2023-06-19、实施日期：2023-06-19，所属团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。
本文网址：https://www.171zz.com/document/224403.html
T/CASAS 025-2023
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*本标准 T/CASAS 025-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。