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T/BEA 43002-2023

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*本标准 T/BEA 43002-2023 仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。

内容简要 1 范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3,电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪(下文简称等离子体测试仪)的校准。2 引用文…

朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范标准号为T/BEA 43002-2023,发布日期:2023-02-20、实施日期:2023-04-19,所属团体名称为北京电子仪器行业协会。

T/BEA 43002-2023

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