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T/NXCL 28-2024

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*本标准 T/NXCL 28-2024 仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。

内容简要 本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂(…

半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚标准号为T/NXCL 28-2024,发布日期:2024-02-06、实施日期:2024-02-06,所属团体名称为宁夏材料研究学会。

T/NXCL 28-2024

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