本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。此标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
电子工业用气体 三氯化硼标准号为GB/T 17874-1999，发布日期：1999-09-16、实施日期：2000-06-01，所属行业分类化工技术。
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