本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。此标准适用于压力在10～10Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。
真空镀膜设备通用技术条件标准号为GB/T 11164-1999，发布日期：1999-04-08、实施日期：1999-09-01，所属行业分类流体系统和通用件。
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GB/T 11164-1999
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*本标准 GB/T 11164-1999 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。