本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。此标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。
圆形石英玻璃光掩模基板规范标准号为GB/T 16523-1996，发布日期：1996-09-09、实施日期：1997-05-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 16523-1996
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*本标准 GB/T 16523-1996 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。