本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。此标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
离子注入机通用技术条件标准号为GB/T 15862-1995，发布日期：1995-12-22、实施日期：1996-08-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 15862-1995
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*本标准 GB/T 15862-1995 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。