本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。此标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
蓝宝石单晶抛光衬底片标准号为GB/T 13843-1992，发布日期：1992-12-28、实施日期：1993-08-01，所属行业分类。
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GB/T 13843-1992
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*本标准 GB/T 13843-1992 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。