本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。此标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
硅-蓝宝石外延片标准号为GB/T 14015-1992，发布日期：1992-12-28、实施日期：1993-08-01，所属行业分类。
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GB/T 14015-1992
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*本标准 GB/T 14015-1992 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。