本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法标准号为GB/T 4298-1984，发布日期：1984-03-28、实施日期：1985-03-01，所属行业分类。
本文网址：https://www.171zz.com/document/242011.html
GB/T 4298-1984
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*本标准 GB/T 4298-1984 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法标准号为GB/T 4298-1984，发布日期：1984-03-28、实施日期：1985-03-01，所属行业分类。
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