本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物标准号为GB/T 24577-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 24577-2009
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*本标准 GB/T 24577-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。