u3000u3000基准面长度对于半导体加工过程中使用材料的适应性是一项重要的参数。晶片自动操作设备被广泛应用于半导体制造业中，它们是通过晶片主参考面识别和定位获得正确的对准。
硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法标准号为GB/T 13387-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 13387-2009
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*本标准 GB/T 13387-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。