u3000u3000此标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 u3000u3000此标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。 u3000u3000硅单晶氧化诱生缺陷的检验也可参照此方法。
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法标准号为GB/T 4058-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 4058-2009
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*本标准 GB/T 4058-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。