u3000u3000此标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000此标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
电子工业用气体 三氟化硼标准号为GB/T 14603-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-05-01，所属行业分类化工技术。
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