u3000u3000此标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。 u3000u3000此标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围:10 Ωcm～10 Ω·cm。
硅片电阻率测定 扩展电阻探针法标准号为GB/T 6617-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 6617-2009
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*本标准 GB/T 6617-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。