本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质,并用石墨炉原子吸收定量检测多晶硅块表面上的痕量金属杂质分析方法。 此标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、铝、铁、铬、镍、锌的检测。 此标准适用于各种棒、块、粒、鋉片形多晶或单晶硅表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则,面积很难准确测定,根据样品重量计算结果。
酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物标准号为GB/T 24579-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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