u3000u3000此标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。 此标准适用于电阻率高于3Ω·cm的p型硅片及电阻率高于1Ω·cm的n型硅片中代位碳原子含量的测定，对于精密度要求不高的硅片，可以测量电阻率大于0.1Ω·cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在于间隙位置，因而本方法不能测定总碳含量。
硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法标准号为GB/T 1558-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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