本标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。此标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。
重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法标准号为GB/T 24580-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 24580-2009
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*本标准 GB/T 24580-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。