本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容－电压测量方法。 u3000u3000此标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。
硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法标准号为GB/T 14146-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 14146-2009
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*本标准 GB/T 14146-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。