GB/T 3163-2007

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*本标准 GB/T 3163-2007 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。

本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。此标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。