本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。此标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。
硅多晶气氛区熔基磷检验方法标准号为GB/T 4059-2007，发布日期：2007-09-11、实施日期：2008-02-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 4059-2007
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*本标准 GB/T 4059-2007 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。