本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法标准号为GB/T 8758-2006，发布日期：2006-07-18、实施日期：2006-11-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 8758-2006
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*本标准 GB/T 8758-2006 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。