本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm～500nm的点或线的间距。
纳米级长度的扫描电镜测量方法通则标准号为GB/T 20307-2006，发布日期：2006-07-19、实施日期：2007-02-01，所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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GB/T 20307-2006
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*本标准 GB/T 20307-2006 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。